सेमीकंडक्टर गैस फिल्टर:
चिप निर्माण में त्रुटिहीन गैस शुद्धता सुनिश्चित करना
सेमीकंडक्टर निर्माण की जटिल दुनिया में, जहां परिशुद्धता और शुद्धता सर्वोपरि है, गुणवत्ता
प्रयुक्त गैसें प्रक्रिया की सफलता निर्धारित करने में महत्वपूर्ण भूमिका निभाती हैं। अशुद्धियाँ, यहाँ तक कि अतिसूक्ष्म स्तर पर भी,
माइक्रोचिप्स की नाजुक सर्किटरी पर कहर बरपा सकता है, जिससे वे दोषपूर्ण और अनुपयोगी हो सकते हैं। सुरक्षा करना
इस महत्वपूर्ण प्रक्रिया में, सेमीकंडक्टर गैस फिल्टर अडिग संरक्षक के रूप में खड़े होते हैं, सावधानीपूर्वक दूषित पदार्थों को हटाते हैं
और विनिर्माण लाइनों के माध्यम से प्रवाहित होने वाली गैसों की प्राचीन गुणवत्ता सुनिश्चित करना।
सिंटेड मेटल फिल्टर की कई उत्कृष्ट विशेषताएं और लाभ हैं
1. अत्याधुनिक क्लीनरूम वातावरण में तैयार किया गया
ये फिल्टर एक अत्याधुनिक क्लीनरूम में पैदा होते हैं, एक ऐसा वातावरण जहां किसी भी संभावित संदूषण को कम करने के लिए बेदाग स्थितियों को सावधानीपूर्वक बनाए रखा जाता है। वे एक कठोर विनिर्माण प्रक्रिया से गुजरते हैं, जिसकी शुरुआत शुद्ध हवा के वातावरण में सटीक वेल्डिंग से होती है। बाद में विआयनीकृत पानी का फ्लश, जिसके बाद उच्च दबाव, फ़िल्टर्ड नाइट्रोजन शुद्धिकरण होता है, किसी भी बचे हुए कणों को समाप्त कर देता है और कणों के बहने का खतरा कम हो जाता है।
2. असाधारण कण हटाने की क्षमता
0.003μm कणों के लिए 9 LRV की उल्लेखनीय निस्पंदन दक्षता के साथ, SEMI F38 और ISO 12500 परीक्षण विधियों द्वारा निर्धारित कड़े मानकों का पालन करते हुए, ये फिल्टर किसी भी जंग-जनित कणों और चलती भागों से उत्पन्न कणों को प्रभावी ढंग से हटा देते हैं, जिससे प्राचीन शुद्धता सुनिश्चित होती है। गैसें.
3. बेहतर यांत्रिक शक्ति
मांग वाली विनिर्माण प्रक्रियाओं और अक्सर उच्च गैस दबाव का उपयोग करने वाले वातावरण में असाधारण लचीलेपन की गारंटी देने के लिए कड़ाई से परीक्षण किया गया, ये फिल्टर अपने पूरे जीवनकाल में अटूट प्रदर्शन प्रदान करते हैं।
4. उच्चतम उद्योग मानकों से अधिक
सेमीकंडक्टर प्रसंस्करण के लिए कठोर गैस हैंडलिंग निस्पंदन आवश्यकताओं को पार करते हुए, ये फिल्टर यह गारंटी देने के लिए कठोर परीक्षण से गुजरते हैं कि वे सेमीकंडक्टर निर्माण में गैस वितरण प्रणालियों द्वारा मांगे गए महत्वपूर्ण निस्पंदन दक्षता, सटीक प्रवाह नियंत्रण और सुरक्षा मानकों को पूरा करते हैं।
5. सुरक्षा के प्रति अटूट प्रतिबद्धता
ज्वलनशील, संक्षारक, विषाक्त और पायरोफोरिक प्रक्रिया गैसों के संपर्क से बचाने के लिए, फ़िल्टर हाउसिंग सावधानीपूर्वक रिसाव परीक्षण से गुजरते हैं, जिससे यह सुनिश्चित होता है कि वे 1x10-9 एटीएम एससीसी/सेकंड से कम की उल्लेखनीय रिसाव दर प्राप्त करते हैं। सुरक्षा के प्रति यह अटूट प्रतिबद्धता यह सुनिश्चित करती है कि खतरनाक गैसों पर नियंत्रण रखा जाए और उन्हें नुकसान पहुंचाने से रोका जाए।
6. चिप निर्माण उत्कृष्टता के लिए समझौता न करने वाली शुद्धता
अपनी असाधारण निस्पंदन क्षमताओं, सुरक्षा के प्रति अटूट प्रतिबद्धता और उच्चतम उद्योग मानकों के पालन के माध्यम से, ये गैस फिल्टर सेमीकंडक्टर निर्माण की जटिल प्रक्रिया की सुरक्षा में महत्वपूर्ण भूमिका निभाते हैं। वे शुद्धता के संरक्षक के रूप में खड़े हैं, यह सुनिश्चित करते हुए कि केवल सबसे स्वच्छ गैसें विनिर्माण लाइनों के माध्यम से प्रवाहित होती हैं, जिससे उच्च प्रदर्शन वाले माइक्रोचिप्स के निर्माण का मार्ग प्रशस्त होता है जो हमारी आधुनिक दुनिया को शक्ति प्रदान करते हैं।
सेमीकंडक्टर फिल्टर के प्रकार
सेमीकंडक्टर फ़िल्टर का उपयोग विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों में किया जाता है, जिनमें शामिल हैं:
* इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण:
सेमीकंडक्टर फिल्टर का उपयोग सेमीकंडक्टर के निर्माण में उपयोग किए जाने वाले अल्ट्राप्योर पानी, गैसों और रसायनों से कणों को हटाने के लिए किया जाता है।
*रासायनिक यांत्रिक प्लानरीकरण (सीएमपी):
सीएमपी घोल से कणों को हटाने के लिए सेमीकंडक्टर फिल्टर का उपयोग किया जाता है, जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर वेफर्स को पॉलिश करने के लिए किया जाता है।
* बायोमेडिकल:
सेमीकंडक्टर फिल्टर का उपयोग चिकित्सा निदान और उपचार में उपयोग किए जाने वाले तरल पदार्थों से कणों को हटाने के लिए किया जाता है।
*पर्यावरण:
सेमीकंडक्टर फिल्टर का उपयोग हवा और पानी से कणों को हटाने के लिए किया जाता है।
अर्धचालक फिल्टर के चार मुख्य प्रकार हैं:
1. झिल्ली फिल्टर:
झिल्ली फिल्टर एक पतली, छिद्रपूर्ण फिल्म से बने होते हैं जो कणों को फंसाते हुए तरल पदार्थ को गुजरने की अनुमति देते हैं।
2. गहराई फिल्टर:
डेप्थ फिल्टर सामग्री के मोटे, टेढ़े-मेढ़े बिस्तर से बने होते हैं जो फिल्टर के माध्यम से प्रवाहित होने वाले कणों को फँसा लेते हैं।
3. अधिशोषक फिल्टर:
अधिशोषक फिल्टर एक ऐसी सामग्री से बने होते हैं जो कणों को आकर्षित करते हैं और उन्हें पकड़कर रखते हैं।
4. सिंटर्ड मेटल फिल्टर
सिंटर्ड मेटल फिल्टर एक प्रकार का डेप्थ फिल्टर है जिसका उपयोग आमतौर पर सेमीकंडक्टर निर्माण में किया जाता है। इन्हें महीन धातु के पाउडर को छिद्रित संरचना में सिंटर करके बनाया जाता है। सिंटर्ड मेटल फिल्टर अपने उच्च स्थायित्व, उच्च निस्पंदन दक्षता और उच्च तापमान और दबाव को झेलने की क्षमता के लिए जाने जाते हैं।
सेमीकंडक्टर निर्माण के लिए सिंटेड मेटल फिल्टर के लाभ:
* उच्च स्थायित्व:
* उच्च निस्पंदन दक्षता:
* लंबा जीवनकाल:
*रासायनिक अनुकूलता:
सेमीकंडक्टर निर्माण में सिंटरयुक्त धातु फिल्टर के अनुप्रयोग:
* गैस शोधन:
सिंटर्ड मेटल फिल्टर सेमीकंडक्टर निर्माण प्रक्रिया का एक अनिवार्य हिस्सा हैं, जो उच्च गुणवत्ता वाले सेमीकंडक्टर उपकरणों के उत्पादन को सुनिश्चित करने में मदद करते हैं।
किसी विशेष अनुप्रयोग में उपयोग किए जाने वाले अर्धचालक फ़िल्टर का प्रकार हटाए जाने वाले कणों के आकार, फ़िल्टर किए जाने वाले तरल पदार्थ के प्रकार और निस्पंदन के वांछित स्तर पर निर्भर करता है।
यहां विभिन्न प्रकार के सेमीकंडक्टर फिल्टर का सारांश देने वाली एक तालिका दी गई है:
फ़िल्टर प्रकार | विवरण | अनुप्रयोग | छवि |
---|---|---|---|
झिल्ली फिल्टर | एक पतली, छिद्रपूर्ण फिल्म से बना है जो कणों को फंसाते हुए तरल पदार्थ को गुजरने की अनुमति देता है। | इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण, सीएमपी, बायोमेडिकल, पर्यावरण | |
गहराई फिल्टर | सामग्री के मोटे, टेढ़े-मेढ़े बिस्तर से बना होता है जो फ़िल्टर के माध्यम से प्रवाहित होने वाले कणों को फँसा लेता है। | सीएमपी, बायोमेडिकल, पर्यावरण | |
अवशोषक फिल्टर | ऐसी सामग्री से बना है जो कणों को आकर्षित करती है और उन्हें पकड़कर रखती है। | इलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण, सीएमपी, बायोमेडिकल, पर्यावरण | |
सिंटर्ड धातु फिल्टर | महीन धातु के पाउडर को छिद्रित संरचना में सिंटरिंग द्वारा बनाया गया। | गैस शुद्धिकरण, रासायनिक निस्पंदन, अल्ट्राप्योर जल निस्पंदन, सीएमपी घोल निस्पंदन | सेमीकंडक्टर के लिए सिंटेड मेटल फिल्टर |
आवेदन
सिन्जेड मेटल सेमीकंडक्टर गैस फिल्टर का सेमीकंडक्टर उद्योग में विभिन्न प्रकार के अनुप्रयोगों में व्यापक रूप से उपयोग किया जाता है। उनके अद्वितीय गुण, जैसे उच्च निस्पंदन दक्षता, स्थायित्व और उच्च तापमान और दबाव का सामना करने की क्षमता, उन्हें अर्धचालक विनिर्माण में गैस वितरण प्रणाली का एक अनिवार्य घटक बनाते हैं।
यहां सिंटेड मेटल सेमीकंडक्टर गैस फिल्टर के कुछ विशिष्ट अनुप्रयोग दिए गए हैं:
1. वेफर उत्पादन:
वेफ़र उत्पादन में उपयोग की जाने वाली गैसों, जैसे नाइट्रोजन, हाइड्रोजन और ऑक्सीजन को शुद्ध करने के लिए सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग किया जाता है। ये गैसें एपीटैक्सियल वृद्धि, नक़्क़ाशी और डोपिंग जैसी प्रक्रियाओं के लिए आवश्यक हैं।
2. रासायनिक निस्पंदन:
सिन्जेड मेटल फिल्टर का उपयोग सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किए जाने वाले रसायनों, जैसे एसिड, बेस और सॉल्वैंट्स को फ़िल्टर करने के लिए किया जाता है। इन रसायनों का उपयोग सफाई, नक़्क़ाशी और पॉलिशिंग सहित विभिन्न उद्देश्यों के लिए किया जाता है।
3. अल्ट्राप्योर जल निस्पंदन:
सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग किए जाने वाले अल्ट्राप्योर पानी (UPW) को फ़िल्टर करने के लिए सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग किया जाता है। यूपीडब्ल्यू वेफर्स की सफाई और धुलाई के साथ-साथ रसायन तैयार करने के लिए आवश्यक है।
4. सीएमपी घोल निस्पंदन:
सीएमपी घोल को फ़िल्टर करने के लिए सिंटेड मेटल फिल्टर का उपयोग किया जाता है, जिसका उपयोग सेमीकंडक्टर वेफर्स को पॉलिश करने के लिए किया जाता है। सीएमपी माइक्रोचिप्स के निर्माण में एक महत्वपूर्ण प्रक्रिया है।
5. उपयोग बिंदु (पीओयू) निस्पंदन:
सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग अक्सर पीओयू फिल्टर के रूप में किया जाता है, जो उच्चतम स्तर के निस्पंदन प्रदान करने के लिए सीधे उपयोग के बिंदु पर स्थापित किए जाते हैं। पीओयू फिल्टर उन अनुप्रयोगों के लिए विशेष रूप से महत्वपूर्ण हैं जहां गैस की शुद्धता महत्वपूर्ण है, जैसे कि माइक्रोप्रोसेसर और अन्य उच्च-प्रदर्शन उपकरणों के निर्माण में।
6. उच्च शुद्धता वाली गैस हैंडलिंग:
सेमीकंडक्टर निर्माण में उपयोग की जाने वाली गैसों से दूषित पदार्थों को हटाने के लिए उच्च शुद्धता वाले गैस हैंडलिंग सिस्टम में सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग किया जाता है। इन संदूषकों में कण, नमी और कार्बनिक यौगिक शामिल हो सकते हैं।
7. माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक्स विनिर्माण:
सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग कंप्यूटर, टैबलेट, सेल फोन, आईओटी सेंसर और नियंत्रण उपकरणों जैसे माइक्रोइलेक्ट्रॉनिक के निर्माण में किया जाता है।
8. माइक्रो-इलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम (एमईएमएस) निस्पंदन:
सिन्जेड मेटल फिल्टर का उपयोग एमईएमएस निस्पंदन में किया जाता है, जो सूक्ष्म-इलेक्ट्रोमैकेनिकल सिस्टम से दूषित पदार्थों को हटाने की प्रक्रिया है। एमईएमएस का उपयोग सेंसर, एक्चुएटर्स और ट्रांसड्यूसर सहित विभिन्न अनुप्रयोगों में किया जाता है।
9. डेटा भंडारण उपकरण निस्पंदन:
सिंटर्ड मेटल फिल्टर का उपयोग डेटा स्टोरेज डिवाइस निस्पंदन में किया जाता है, जो हार्ड ड्राइव और सॉलिड-स्टेट ड्राइव जैसे डेटा स्टोरेज डिवाइस से दूषित पदार्थों को हटाने की प्रक्रिया है।
इन विशिष्ट अनुप्रयोगों के अलावा, अर्धचालक उद्योग में विभिन्न प्रकार के अन्य अनुप्रयोगों में भी सिन्जेड मेटल सेमीकंडक्टर गैस फिल्टर का उपयोग किया जाता है। उनकी बहुमुखी प्रतिभा और विश्वसनीयता उन्हें सेमीकंडक्टर निर्माताओं के लिए एक आवश्यक उपकरण बनाती है।
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