सेमीकंडक्टर में उच्च शुद्धता गैस निस्पंदन के लिए HENGKO उच्च शुद्धता झरझरा धातु चैंबर डिफ्यूज़र स्टोन
HENGKO पोरस मेटल डिफ्यूज़र तेजी से वैक्यूम चैंबरों को वायुमंडल में प्रवाहित करते हैं जिससे चक्र का समय कम हो जाता है और थ्रूपुट बढ़ जाता है।हमारे स्टेनलेस स्टील डिफ्यूज़र चैम्बर में कणों को परेशान किए बिना एक समान और लैमिनर गैस प्रवाह प्रदान करते हैं।ये छिद्रपूर्ण धातु विसारक आने वाली गैस से 0.1 µm से अधिक के कणों को भी हटा देते हैं, जिससे वेफर पर दोष कम हो जाते हैं।
स्टेनलेस स्टील डिफ्यूज़र उच्च परिचालन दबाव का सामना कर सकते हैं और उत्पाद की अखंडता बनाए रख सकते हैं - जो उद्योग में सबसे लंबा जीवनकाल है।और, निकल से बेहतर संक्षारण प्रतिरोध के लिए, HENGKO उच्च शुद्धता डिफ्यूज़र का उपयोग करें।
अनुप्रयोग
HENGKO पोरस मेटल डिफ्यूज़र का उपयोग लोड लॉक चैंबर्स, ट्रांसफर चैंबर्स, कूलिंग चैंबर्स और सेमीकंडक्टर उपकरण इंटरफेस (सीवीडी, पीवीडी, ईच, एपी) या अन्य वैक्यूम चैंबर्स के प्रोसेस चैंबर्स पर वेंट अनुप्रयोगों में किया जाता है।
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