सेमीकंडक्टर स्वच्छ कक्ष तापमान आर्द्रता नियंत्रण योजना के लिए तापमान और आर्द्रता सेंसर
उत्पाद प्रदर्शनी
तापमानऔरस्वच्छ स्थान की आर्द्रता मुख्य रूप से प्रक्रिया की आवश्यकताओं के अनुसार निर्धारित की जाती है, लेकिन प्रक्रिया की आवश्यकताओं को पूरा करने की स्थिति में आराम की भावना को ध्यान में रखा जाना चाहिए।वायु स्वच्छता आवश्यकताओं में सुधार के साथ, तापमान और आर्द्रता के लिए अधिक से अधिक सख्त आवश्यकताओं की प्रवृत्ति रही है।
जैसे-जैसे प्रसंस्करण सटीकता अधिक से अधिक ठीक होती जाती है, वैसे-वैसे तापमान में उतार-चढ़ाव की सीमा कम और कम होती जाती है।उदाहरण के लिए, बड़े पैमाने पर एकीकृत सर्किट उत्पादन की लिथोग्राफिक एक्सपोजर प्रक्रिया में, मुखौटा सामग्री के रूप में ग्लास और सिलिकॉन वेफर के बीच थर्मल विस्तार गुणांक का अंतर छोटा और छोटा होना आवश्यक है।व्यास 100 उम सिलिकॉन वेफर, तापमान वृद्धि 1 डिग्री, 0.24um रैखिक विस्तार का कारण होगा, इसलिए ± 0.1 डिग्री का तापमान होना चाहिए, साथ ही आर्द्रता का मान आम तौर पर कम होता है, क्योंकि लोगों को पसीना आता है, उत्पाद में प्रदूषण होगा, विशेष रूप से सोडियम सेमीकंडक्टर वर्कशॉप से डरते हुए, यह वर्कशॉप 25 डिग्री से अधिक नहीं होनी चाहिए।
उच्च आर्द्रता अधिक समस्याएं पैदा करती है।जब सापेक्ष आर्द्रता 55% से अधिक हो जाती है, तो ठंडा पानी के पाइप की दीवार पर ओस बनेगी, जो सटीक उपकरणों या सर्किट में होने पर विभिन्न दुर्घटनाओं का कारण बनेगी।जब सापेक्ष आर्द्रता 50% होती है, तो जंग लगना आसान होता है।इसके अलावा, जब आर्द्रता बहुत अधिक होती है, तो सिलिकॉन चिप की सतह पर चिपकी हुई धूल को हटाने का विरोध करने के लिए सतह पर रासायनिक रूप से सोख लिया जाएगा।सापेक्ष आर्द्रता जितनी अधिक होती है, आसंजन को हटाना मुश्किल होता है, लेकिन जब सापेक्ष आर्द्रता 30% से कम होती है, तो इलेक्ट्रोस्टैटिक बल की क्रिया के कारण कणों को सतह पर सोखना आसान होता है, और बड़ी संख्या में अर्धचालक उपकरण होते हैं। टूटने का खतरा।वेफर उत्पादन के लिए इष्टतम तापमान सीमा 35-45% है।
इसलिए, तापमान और आर्द्रता का नियंत्रण विशेष रूप से महत्वपूर्ण है, HENGKO आपको इसकी एक श्रृंखला प्रदान कर सकता हैतापमान और आर्द्रता ट्रांसमीटर अनुकूलित प्रसंस्करण समाधान!
सेमीकंडक्टर स्वच्छ कक्ष तापमान आर्द्रता नियंत्रण योजना के लिए तापमान और आर्द्रता सेंसर
क्या आपको ऐसा उत्पाद नहीं मिल रहा है जो आपकी आवश्यकताओं को पूरा करता हो?के लिए हमारे सेल्स स्टाफ से संपर्क करेंOEM / ODM अनुकूलन सेवाएं! 
