अति-शुद्ध अर्धचालक गैस प्रणालियों के लिए उन्नत आईजीएस सरफेस माउंट सी-सील फिल्टर
विवरण
हेंगको सरफेस माउंट फिल्टर सेमीकंडक्टर ओईएम टूल्स में उपयोग होने वाले इंटीग्रेटेड गैस सिस्टम की कठिन आवश्यकताओं को पूरा करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। 0.003 µm पर उद्योग-अग्रणी निस्पंदन क्षमता प्रदान करते हुए, ये फिल्टर 120 slpm पर ≥99.9999999% (9-LRV) की कण अवरोधन दक्षता के साथ असाधारण प्रदर्शन और विश्वसनीयता सुनिश्चित करते हैं।
फ़िल्टर एलिमेंट और हाउसिंग के लिए पाउडर सिंटरिंग द्वारा निर्मित मज़बूत 316L स्टेनलेस स्टील से बने ये फ़िल्टर SEMI F86-0304 विनिर्देशों के अनुरूप हैं। इनमें 1.125 इंच गैस वितरण प्रणालियों के लिए डिज़ाइन किए गए दो-पोर्ट घटक हैं जिनमें C-सील कॉन्फ़िगरेशन है। ये 100°C पर अधिकतम 3.4 MPa के इनलेट दबाव और 100°C पर अधिकतम 0.69 MPa के ऑपरेटिंग दबाव अंतर को सहन कर सकते हैं।
ये विशेषीकृत फ़िल्टर, जो C-प्रकार और W-प्रकार दोनों सील विनिर्देशों के साथ संगत हैं, कणों को मुक्त करते हुए अनुप्रवाह स्वच्छता प्राप्त करते हैं।
Ra की सतह फिनिश के साथबाहरी भाग पर < 1.6 µm और Raआंतरिक भाग में 0.13 µm से कम मोटाई वाले ये फ़िल्टर 460°C तक के उच्च तापमान को सहन करने के लिए डिज़ाइन किए गए हैं। आसान एकीकरण और मॉड्यूलर डिज़ाइन अपग्रेड के लिए इंजीनियर किए गए ये फ़िल्टर स्थापना और रखरखाव को सरल बनाते हैं, जिससे सेमीकंडक्टर गैस वितरण और नियंत्रण अनुप्रयोगों में सिस्टम प्रदर्शन को अनुकूलित करने में मदद मिलती है।
उत्पाद सुविधा
▶ समग्र रूप से 316L स्टेनलेस स्टील से निर्मित
▶ छोटा आकार, कॉम्पैक्ट संरचना, कम जगह घेरने वाला
▶ उत्कृष्ट गैस प्रतिस्थापन और विसर्जन गुण
▶ उच्च तापमान, उच्च दबाव और जंग प्रतिरोधी
▶ इलेक्ट्रो-पॉलिश किया हुआ 316L स्टेनलेस स्टील का आवरण
▶ आसान और कुशल स्थापना एवं रखरखाव
▶ यांत्रिक सीलिंग, संरचनात्मक रूप से माध्यम से असंबद्ध
डेटा शीट
| तकनीकी मापदंड | मान |
|---|---|
| फ़िल्टर तत्व सामग्री | 316L स्टेनलेस स्टील सिंटर्ड पाउडर |
| आवास सामग्री | 316L स्टेनलेस स्टील |
| अधिकतम प्रवेश दबाव | 3.4 एमपीए @ 100°C |
| अधिकतम परिचालन अंतर | 0.69 एमपीए @ 100°C |
| हीलियम सत्यापन रिसाव दर | 1x10⁻¹¹ सीसी/मिनट |
| हीलियम परीक्षण रिसाव दर | 1x10⁻⁹ सीसी/मिनट |
| सतह का उपचार | बाह्य सतह Ra< 1.6 μm |
| आंतरिक सतह Ra< 0.13 μm | |
| अधिकतम परिचालन तापमान | 460° सेल्सियस |
| कण अवरोधन दक्षता | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 slpm (संदर्भ MPPS, सभी कण) |
| अनुप्रवाह स्वच्छता | कणों का उत्सर्जन:< 0.03 कण/लीटर (< 1 कण/ft³) |
| अस्थिर पदार्थ:< 10 पीपीपीबी नमी | |
| कण अवरोधन आकार | ≥0.003 μm |
| प्रवाह सीमा | 0 ~ 120 एसएलपीएम |
आकार
यहां ऑर्डर करने के लिए पार्ट नंबर और साइज की जानकारी दी गई है:
| उत्पाद मॉडल | प्रवाह दर | ऊंचाई H (मिमी) | निस्पंदन परिशुद्धता | सफाई स्तर |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 एसएलपीएम | 51.6 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 एसएलपीएम | 82.9 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 एसएलपीएम | 126.2 | 0.003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 एसएलपीएम | 167.9 | 0.003 μm | C |
विशिष्ट अनुप्रयोग
डब्ल्यू-सील और सी-सील, 1.125” और 1.5” सरफेस माउंट मॉड्यूलर गैस डिलीवरी सिस्टम के साथ उपयोग के लिए।
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